拉普拉斯擴散/LPCVD自動上下料系統LLA8000/LLA15000
拉普拉斯擴散/LPCVD自動上下料系統LLA8000/LLA15000

拉普拉斯擴散/LPCVD自動上下料系統為在線式全自動上下料系統,具備在線方阻檢測,AGV對接和MES等選配功能。

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系統的應用及特點

本設備使用6軸機器人搬運石英舟,可靠性高,且更具靈活性。本設備有一拖一LLA8000/00和一拖二LLA15000/00兩種機型,適合客戶不同產線與投資需求。


拉普拉斯石英舟自動上下料系統


拉普拉斯石英舟自動上下料系統


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