拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統 LAA3000/00
拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統 LAA3000/00

拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統為在線式全自動上下料系統,具備AGV對接和MES等選配功能。

了解更多,可通過以下電話或郵箱詳細咨詢
銷售郵箱:sales@laplace-tech.cn
  • 產品介紹
  • 數據與圖片

系統的應用及特點

本設備采用水平流片的方式,無插拔,無劃傷,適合210mm大硅片生產,能幫助客戶提高電池良率。

拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統 LAA3000/00

相關推薦

拉普拉斯低壓水平磷擴散系統 LRP430
拉普拉斯低壓水平磷擴散系統 LRP430
拉普拉斯低壓水平硼擴散系統 LRB430
拉普拉斯低壓水平硼擴散系統 LRB430
拉普拉斯低壓水平氧化退火系統  LOX430
拉普拉斯低壓水平氧化退火系統 LOX430
拉普拉斯低壓水平化學氣相沉積鍍膜系統 LPCVD LLP430
拉普拉斯低壓水平化學氣相沉積鍍膜系統 LPCVD LLP430